各種金属材料との選択エッチングが可能なチタンエッチング液
CuやAu電極のバリア層や密着層の除去において、Tiの選択的なエッチングが可能です。
【特徴】
■TI-8Aは各種金属との選択エッチングが可能であり、TiNやTiWのエッチング液としても使用可能
■TI-101は過酸化水素水を使用せず、CuやAgとの選択エッチングが可能
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
■TI-8A
■TI-101
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
■TI-101
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価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
型番・ブランド名 | TIシリーズ |
用途/実績例 |
<適用分野・使用用途例> *MEMS、電子部品、フォトマスク、FPDなど *CuやAuの密着層のエッチング、IGZO膜上のバリア層のエッチング |
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関東化学株式会社 電子材料事業本部