サイドエッチングの少ないパターニングが可能なクロムエッチング液
水晶振動子やMEMSセンサーなどの電極材料、フォトマスクに使われるCr薄膜に対応したエッチング液です。
【特徴】
■サイドエッチングの少ないパターニングが可能
■Cr-301はエッチングレートが極めて低いため、Cr膜の膜厚調整などに適しています。
※詳しくは、お気軽にお問い合わせ下さい。
□エッチングレート等詳細はPDF資料や弊社HPをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | Crシリーズ |
| 用途／実績例 |
＜適用分野・使用用途例＞ ＊MEMS、電子部品、フォトマスク、FPDなど ＊Au電極の密着層のエッチング、フォトマスクのパターニングなど |
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関東化学株式会社 電子材料事業本部
