上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
SEMにEDXと自動解析ソフトを統合させた装置で、数千個の異物を自動で検出し、個々の異物に対するサイズ情報と元素組成を取得します
解析パラメーター
■ 異物個数
■ 最大径、最小径、平均直径、面積、縦横比
■ 元素組成
■ 画像 その他多数
解析レポート
■ ISO16232
■ VDA-19
■ その他カスタマイズリポート
■ 異物個数
■ 最大径、最小径、平均直径、面積、縦横比
■ 元素組成
■ 画像 その他多数
解析レポート
■ ISO16232
■ VDA-19
■ その他カスタマイズリポート
関連情報
ParticleX TC 異物自動解析SEM
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[特徴]
・ 作業者の技量に左右されない解析結果
・ 他の作業に取り掛かりながらの解析が可能
・ 数千個の異物、不純物を短時間で解析
・ 異物、不純物の種類毎に分類及び自動レポート
・ 最大サンプルサイズ100 x 100mm (47φフィルター x 4枚)
[主な使用用途 ・不具合の原因究明]
・製造ラインの異物発生原を特定
・製品の清浄度管理
・清浄度の規格作成
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
お問い合わせ
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極東貿易株式会社