最終更新日:
2022-06-21 15:47:31.0
紫外線露光装置2台を同時に、高速高精度に制御できる装置を開発した事例をご紹介
協立電機株式会社 技術開発部の『タイミング発生装置』の開発事例を
ご紹介いたします。
当社では、「半導体生産設備用の紫外線露光装置2台を同時に、
高速高精度に制御できる基板が欲しい」との依頼を受けました。
そこで、紫外線発生装置2台へ与えるシグナルパルス発生装置を開発しました。
【事例概要】
■要求
・半導体生産設備用の紫外線露光装置２台を同時に、高速高精度に
制御できる基板が欲しい
■開発した装置
・紫外線発生装置２台へ与えるシグナルパルス発生装置
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
要求仕様】
■高速高精度タイミングパルス発生
■光インタフェース装備
■2台を微妙なタイミング制御を行いつつ、正確にパルス発生
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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| 用途／実績例 | ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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