ケメット・ジャパン株式会社 本社

WAX貼付け装置 卓上型『Kemet 250S』

最終更新日: 2017-09-28 15:28:17.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

セミオート化も可能!薄基板を支持基板にムラなく貼り付けする卓上型の装置
『Kemet 250S』は、サファイア、SiC、GaN ウェハーなどの薄基板を、
セラミックやガラス等の支持基板にワックス接着させる貼り付け装置です。

張り合わせ時に、ワックスに含まれる泡や、貼り付ける際に入ってしまう
空気を、真空状態で貼り付けるため、脱泡することが出来ます。

試料を貼り付ける一連の作業を、シーケンサーと温度コントローラーにて
制御しており、条件設定すればセミオート化できます。

【特長】
■薄基板を支持基盤にワックス装着させる為の装置
■張り合わせ時、真空脱法することが可能
■空気圧力で試料を均等に加圧させるため、均一に貼り合わせられる
■貼り合わせ設定はシーケンサーによるプログラムコントロール
■ワックスの硬化時間を設定でき、急速冷却を防ぐ

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連情報

WAX貼付け装置 卓上型『Kemet 250S』
WAX貼付け装置 卓上型『Kemet 250S』 製品画像

【仕様】
■対象支持基板径:~φ180mm
■ホットプレート設定温度範囲:常温~200℃
■加圧範囲:~0.3MPa
■加圧時間:1sec~4000sec
■入力電源:AC200V
■消費電力:20A
■寸法:W630×D400×H520
■重量:約100kg

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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