ケメット・ジャパン株式会社 本社

サスペンション添加剤『VECTOR HTS-3』

最終更新日: 2017-09-28 17:26:13.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

1週間以上高い分散性をキープ!高い粘性をもったシリコンウェーハ用の分散剤
『VECTOR HTS-3』は、シリコンウェーハのラップ用に開発された分散剤です。

高い生物分解性と粘性をもち、アルミナと純水を混合することにより
適度の粘性のラッピングスラリーが得られます。

物理的・化学的特性の変化が無く、1週間以上の高い分散性が
保持されます。

【特長】
■ラッピングスラリー用
■高い生物分解性
■高い粘性
■物理的・化学的特性の変化なし
■ウェーハ平坦性
■ウェーハダメージ低減

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連情報

サスペンション添加剤『VECTOR HTS-3』
サスペンション添加剤『VECTOR HTS-3』 製品画像

【その他の特長】
■高ラップレート
■スクラッチ低減
■後洗浄性の向上
■高いラップ再現性ウェーハ残滓低減
■研磨材の削減

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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