ケメット・ジャパン株式会社 本社

防錆リンス剤『VECTOR HTR』

最終更新日: 2017-09-28 18:14:04.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

表面張力を抑え、ウェーハ上の残滓を低減するリンス剤!防錆効果も発揮
『VECTOR HTR』は、ラッピングプレート・ウェーハ上の残滓除去に使用され
防錆効果も有します。

ラップ盤とウェーハ間の表面張力を抑え、ウェーハ上の残滓を低減。

ポリッシング応用では、パッドとウェーハのリンスに威力を発揮します。

【特長】
■ウェーハ洗浄・取り扱い時使用
■ラップ盤・パッドのメンテナンス・洗浄の低減
■ステイニングの低減
■プレートのコンタミネーションによるウェーハの割れ・スクラッチの低減
■ラッピング時のウェーハ割れ低減

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連情報

防錆リンス剤『VECTOR HTR』
防錆リンス剤『VECTOR HTR』 製品画像

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