ナノ・マイクロ・ミリが一台で測れるトリプルスキャン方式のレーザ顕微鏡
『VK-X3000』は、レーザ共焦点・フォーカスバリエーション・白色干渉の
3つの異なるスキャン原理が一台で使用できるレーザ顕微鏡です。
サンプルワークの素材や形状や測定範囲に合わせて好適なスキャン方式を
選択することにより、高精度に測定が可能。
高さや寸法を計測するだけの従来型の測定ソフトではなく、さらに一歩
踏み込んだ解析を豊富な解析ツールによって思いのままに実現します。
【特長】
■ナノ・マイクロ・ミリが一台で測れるトリプルスキャン方式
■292種類の解析ツールにより、知りたいことはこの一台で完結
■光学顕微鏡からSEMの領域を1台でカバー
■非接触で一瞬にして形状をスキャン
■知りたかった表面の“違い”がわかる
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【トリプルスキャン方式の特長】
■高倍率で高精細にスキャン
・最高倍率28800倍
・目で見えない微細形状も高精細なデータで粗さまで的確にとらえる
■広範囲を瞬時にスキャン
・最大スキャンエリア50mm角
・大きな凹凸や手のひらに乗るものも丸ごとスキャン
・全体形状も部分形状も両方把握
■高分解能で正確にスキャン
・最高分解能0.01nm
・小さな形状変化も正確に捉える
・スキャンが難しい透明体や鏡面体にも対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■高倍率で高精細にスキャン
・最高倍率28800倍
・目で見えない微細形状も高精細なデータで粗さまで的確にとらえる
■広範囲を瞬時にスキャン
・最大スキャンエリア50mm角
・大きな凹凸や手のひらに乗るものも丸ごとスキャン
・全体形状も部分形状も両方把握
■高分解能で正確にスキャン
・最高分解能0.01nm
・小さな形状変化も正確に捉える
・スキャンが難しい透明体や鏡面体にも対応
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | VK-X3000 シリーズ |
| 用途／実績例 |
【測定事例】 ■Siウェハ裏面 3000倍：表面粗さ測定 ■液相成長によるGaAs上のアセット 3000倍：非真空による高倍率撮影 ■カメラマウント部端子 30mm×12mm：端子の形状測定 ■MEMS 2mm×2mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
関連ダウンロード
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社キーエンス
