上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
ドライバー&コントローラー内蔵、コンピューター制御高精度リニアポジショニングステージ
●単軸 / 2軸(XY)(全4種類)
●各ストローク:50mm, 100mm, 150mm, 200mm
●各分解能:5nm
●繰り返し位置精度:各0.8μm
●精度(2s, μm):10, 12, 14, 16
●最小移動距離:各100nm
保持安定性:各±30nm
●総質量(各軸):0.8kg, 1.1kg, 1.4kg, 1.7kg
●耐久荷重:各10kg
一般的なリニアステージには、かさばる高価な外部コントローラ、モーター駆動回路、
フィードバック補間、制限およびホーム入力回路、および軸ごとに複数のケーブルが必要でしたが、 SmartStageポジショナーには、高性能コントローラーとステージをセットするためのすべてのハードウェアが組み込まれています。
SmartStageリニアポジショナーは、このすべての機能を超コンパクトなパッケージでご提供します。最大2軸ステージを制御するために必要な固定ケーブルは1本だけです。
●各ストローク:50mm, 100mm, 150mm, 200mm
●各分解能:5nm
●繰り返し位置精度:各0.8μm
●精度(2s, μm):10, 12, 14, 16
●最小移動距離:各100nm
保持安定性:各±30nm
●総質量(各軸):0.8kg, 1.1kg, 1.4kg, 1.7kg
●耐久荷重:各10kg
一般的なリニアステージには、かさばる高価な外部コントローラ、モーター駆動回路、
フィードバック補間、制限およびホーム入力回路、および軸ごとに複数のケーブルが必要でしたが、 SmartStageポジショナーには、高性能コントローラーとステージをセットするためのすべてのハードウェアが組み込まれています。
SmartStageリニアポジショナーは、このすべての機能を超コンパクトなパッケージでご提供します。最大2軸ステージを制御するために必要な固定ケーブルは1本だけです。
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株式会社キーストンインターナショナル