大きな移動量とナノメートルレベルの精度を同時に実現！高い動的性能をもつナノモーションステージをご紹介
『ANT95Lシリーズ』は、25mmを超える移動距離を持つ
ナノメートルレベルの位置決めシステムです。
「ANT95L」および「ANT95L-PLUS」クロスローラーステージは、速度、
精度、分解能、再現性、信頼性、およびサイズを組み合わせる上で
最高クラスであり、2つの精度グレードで提供。
リニアステージは、最大5Gの加速度、500mm/sの速度、強化された負荷容量、
幅広い構成での使用を可能にする標準化されたユニバーサルベース
取り付けパターンを利用できます。
【特長】
■大きな移動量とナノメートルレベルの精度を同時に実現
■高解像度（1nm）、繰返し位置精度（75nm）、精度（250nm）
■1nm未満のインポジション安定性
■クリープ防止クロスローラーベアリング
■高い動的性能
※英語版カタログをダウンロードいただけます。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【その他の特長】
■Aerotechが開発した高度なダイレクトドライブ技術を利用
■最高レベルの位置決め性能を実現
■高性能、コギングなし、非接触、高速、高解像度、高精度を実現
■滑らかで正確な動きによって、光学遅延素子の作動、センサーのテスト、要求される
スキャンプロセスなどの多くのアプリケーションで利用が可能
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■Aerotechが開発した高度なダイレクトドライブ技術を利用
■最高レベルの位置決め性能を実現
■高性能、コギングなし、非接触、高速、高解像度、高精度を実現
■滑らかで正確な動きによって、光学遅延素子の作動、センサーのテスト、要求される
スキャンプロセスなどの多くのアプリケーションで利用が可能
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