ローコスト！一体弾性ヒンジ機構の摩擦レス動作により移動精度が優れています！
『ML-20XYL』は、薄型設計のXY軸・高速応答・薄型ピエゾステージです。
変位センサ内蔵タイプはピエゾコントローラと組合せることで高精度な
位置決めが可能。
他にも、可動部中央に大型の透過窓があり光軸を導入可能な「Z軸・高速応答・
透過窓付きピエゾステージ」などをご用意しております。
【特長】
■薄型 6mm
■透過窓 □20mm
■ローコスト
■一体弾性ヒンジ機構の摩擦レス動作により移動精度が優れる
■変位センサ内蔵タイプはピエゾコントローラと組合せることで高精度な
位置決めが可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【ラインアップ（一部）】
■XY軸・ロングストローク・薄型ピエゾステージ
■Z軸・高速応答・透過窓付きピエゾステージ
■ステッピングピエゾステージ
■θz回転軸ピエゾステージ
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■XY軸・ロングストローク・薄型ピエゾステージ
■Z軸・高速応答・透過窓付きピエゾステージ
■ステッピングピエゾステージ
■θz回転軸ピエゾステージ
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| 用途／実績例 |
【用途】 ■ナノポジショニング ■各種顕微鏡 ■XY高速スキャニング試験装置 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
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