手動で制御する精密位置決めステージ
ピエゾアシストステージとは20nmという最小分解能でかつ粗動(mmオーダー)を備えた微動粗動手動ステージです。
主な用途はテーブルの精密位置決めや微小荷重のコントロールを要する用途（ナノインデンテーション）でも容易に実現できる手動精密ステージです。
大きさもコンパクトで簡単に持ち運びすることができ、使用方法もとても簡単です。
低予算で導入することができるリーズナブルな商品です。（*1nm=10億分の1m)
ピエゾアシストステージの動作原理
■装置の構成
ピエゾアシストステージはステージの粗動機構としてマイクロメータを、微動機構としてピエゾアシスト機構をX軸,Y軸にそれぞれ持っています。
ピエゾアシスト機構には弊社ピエゾアクチュエータが内蔵されており、その伸縮機構によって精密な位置決めを実現しています。
マイクロメータは稼動範囲が最大13mmあり、10μmの分解能で位置決めができます。ピエゾアシストは稼動範囲が約35μmで20nmの分解能で位置決めができます。
ピエゾアシストステージは、この二つの調整機構を併用することで最大13mmの稼動範囲で20nmの分解能の精密位置決めが可能となっています。
■装置の構成
ピエゾアシストステージはステージの粗動機構としてマイクロメータを、微動機構としてピエゾアシスト機構をX軸,Y軸にそれぞれ持っています。
ピエゾアシスト機構には弊社ピエゾアクチュエータが内蔵されており、その伸縮機構によって精密な位置決めを実現しています。
マイクロメータは稼動範囲が最大13mmあり、10μmの分解能で位置決めができます。ピエゾアシストは稼動範囲が約35μmで20nmの分解能で位置決めができます。
ピエゾアシストステージは、この二つの調整機構を併用することで最大13mmの稼動範囲で20nmの分解能の精密位置決めが可能となっています。
| 価格帯 | 1万円 ~ 10万円 |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | MTPAシリーズ |
| 用途／実績例 |
・オートフォーカス ・共焦点顕微鏡 ・半導体、FPD検査装置 ・画僧処理機器 ・レーザー加工 ・干渉計形状測定 |
詳細情報
本製品はノブを回すだけでの直感的操作を実感でき軽量且つコンパクトです。
また、精細な分解能と広い可動範囲を両立を実現します。
お問い合わせ
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株式会社キーストンインターナショナル
