特徴:
・カスケードポンプ等に比べ、高効率です。
・液の発熱が少ない。
・高吸込み揚程です。
・高吐出圧です。
・軽量コンパクトです。
・フッ素系溶剤、純水、エチレングリコール、フッ素系油、 一般鉱物油等の液移送、圧送に最適です。半導体製造装置 の冷却システム(チラーユニット)用にもご使用いただけます。
・カスケードポンプ等に比べ、高効率です。
・液の発熱が少ない。
・高吸込み揚程です。
・高吐出圧です。
・軽量コンパクトです。
・フッ素系溶剤、純水、エチレングリコール、フッ素系油、 一般鉱物油等の液移送、圧送に最適です。半導体製造装置 の冷却システム(チラーユニット)用にもご使用いただけます。