【エッチング用】高精度の光ファイバー温度センサー
Accelovant社の温度センサーは高精度な温度測定により、
お客様の歩留まりの目標達成をサポートし、装置全体におけるチャンバーマッチングを実現します。
高性能で耐久性が高く、従来の技術では対応できなかった過酷な環境でも使用できます。
Accelovant社の光ファイバー温度センサーには独自の新しい材質を使用しており、比類ない性能を発揮しています。
センサーはNISTで校正されています。
お客様の歩留まりの目標達成をサポートし、装置全体におけるチャンバーマッチングを実現します。
高性能で耐久性が高く、従来の技術では対応できなかった過酷な環境でも使用できます。
Accelovant社の光ファイバー温度センサーには独自の新しい材質を使用しており、比類ない性能を発揮しています。
センサーはNISTで校正されています。
関連情報
半導体・産業用 光ファイバー温度センサー
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■対応仕様（詳細はお問い合わせください）
・動作温度：-100 ℃～600 ℃（カスタムソリューション：～700 ℃）
・測定精度： 最大±0.05 ℃
・全システム、センサーとコンバーターの交換が可能
（※アプリケーションによる）
・通信プロトコル：485 Modbus、EtherCAT 対応
・アナログ出力：4-20 mA 対応
・曲げ強度 ：＞350 MPa
・圧縮強度 ：＞1,000 MPa
・NIST校正
お問い合わせ
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ケイエルブイ株式会社
