神鋼アクテック株式会社

【フィルターの用途】有害ガス除去

最終更新日: 2024-09-19 12:36:16.0
硫化水素によるプリント基板(電子回路基板)の腐食防止などの用途に!

有害ガス除去におけるフィルターの用途についてご紹介いたします。

対象ガスの一例は、オゾン、NOx、硫化水素等の腐食性ガス、
ホルムアルデヒド。

また、想定される用途の一例として、半導体製造工程の余剰オゾンの除去、
紫外線(UV)ランプで発生するオゾンの除去、オゾン分解触媒脱臭、石炭火力
発電所の排煙脱硝などが挙げられます。

【対象ガスの一例】
■オゾン
■NOx
■硫化水素等の腐食性ガス
■ホルムアルデヒド

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基本情報

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用途/実績例 【想定される用途】
■半導体製造工程の余剰オゾンの除去
■紫外線(UV)ランプで発生するオゾンの除去
■オゾン分解触媒脱臭
■石炭火力発電所の排煙脱硝
■硫化水素によるプリント基板(電子回路基板)の腐食防止
■ホルムアルデヒドによるシックハウスの防止

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