株式会社工苑

超音波モータ『HRシリーズ』

最終更新日: 2022-11-22 11:13:29.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

高分解能、高速応答性、省スペース!制限のない可動範囲と高い応答性!
『HRシリーズ』は、直線および回転ステージを動かすのに用いられる
超音波モータです。

速度は数μm/secから250mm/secまでの広い可変域を持ち一般的な
摩擦抵抗の少ないステージなどの機器に簡単に取り付けられます。

単体エレメントから8つのエレメントを重ね合わせたモータまで
各種ラインアップ。真空仕様品もございます。

【特長】
■10nmのステップ分解能
■AB2アンプのDCモードなら1nmのステップ分解能を実現
■1μm/sから250mm/sまでのワイドな速度範囲
■制限のない可動範囲と高い応答性
■4~32Nの抜群の駆動力

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連情報

超音波モータ『HRシリーズ』
超音波モータ『HRシリーズ』 製品画像
【その他の特長】
■電力なしで3.5~28Nの静止保持力
■1.4×10^-8Pa(10^-10torr)までの高真空対応
■電磁場を発生させない
■回転部のないシンプル構造なダイレクトドライブ
■HRモータはダイレクトドライブなので直接ステージを動かせる
■取付方向も縦横どちらでも可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
超音波モータHRシリーズ搭載、標準ステージ
超音波モータHRシリーズ搭載、標準ステージ 製品画像
Nanomotion社の標準ステージは、HRモータ(Nanomotion製超音波モータ)で駆動され、光学式エンコーダを備えたクローズドループサーボモーションで構成されます。モジュラー設計による取り付けは、標準アングルブラケットを使用して簡単に取り付けすることができます。すべての軸には、精密な位置決めを可能とする高い剛性と光学式エンコーダを備えた精密クロスローラベアリングを使用しています。

標準ステージは下記の分類があります。
・FBリニアステージ
・FRロータリーステージ
・FGゴニオステージ
・FZくさび形ステージ

これらのステージは、標準的な大気圧モデル、ISOクラス3のクリーンルーム対応モデル、真空モデルを提供しています。

また、標準的ステージに適さないアプリケーションについてはカスタム対応致します。お気軽にご相談ください。
FBリニアステージ(精密位置決め装置)
FBリニアステージ(精密位置決め装置) 製品画像
〇機械的特性の例(FBS100100)
ステージプレート素材:アルミニウム-黒アルマイト
モータ:HR8モータ
ベアリングタイプ:精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付
エンコーダ:ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ
ケーブル⾧:3m
MTBF(平均故障時間):30,000Hr
ステージ質量:1811g
可動質量:710g
RoHS:適合
真空対応オプション:高真空(HV)1.4×10-5Pa(10-7 Torr)まで
          超高真空(UHV)1.4×10-8Pa(10-10 Torr)まで
〇性能仕様
移動範囲(mm):100mm
エンコーダー分解能:標準 100nm
          オプション 10nm
双方向繰り返し精度:標準 1μm
          オプション 100nm
絶対精度(誤差マップ提供可):標準 10μm
               オプション 7μm
最大速度:最大速度250mm /秒
FRロータリーステージ(精密位置決め装置)
FRロータリーステージ(精密位置決め装置) 製品画像
〇機械的特性(例:FRS060360)
ステージプレート素材:アルミニウム-黒アルマイト
モータ:HR2モータ
ベアリングタイプ:精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付
エンコーダ:ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ
ケーブル⾧:3m
MTBF(平均故障時間):30,000Hr
ステージ質量:581g
可動質量:268g
可動慣性質量:0.102gr-m²
RoHS:適合
真空対応オプション:高真空(HV)1.4×10-5Pa(10-7 Torr)まで
          超高真空(UHV)1.4×10-8Pa(10-10 Torr)まで

〇性能仕様
移動範囲(mm):nx 360
エンコーダー分解能:標準 5arc sec.(オプション 0.5arc sec.)
双方向繰り返し精度:標準 50arc sec.(オプション 5arc sec.)
精度 標準: 10arc sec.(オプション 5arc sec.)
FGゴニオステージ(精密位置決め装置)
FGゴニオステージ(精密位置決め装置) 製品画像
〇機械的特性(FGS013S125)
ステージプレート素材:アルミニウム-黒アルマイト
モータ:HR4モータ
ベアリングタイプ:精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付
エンコーダ:ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ
ケーブル⾧:3m
MTBF(平均故障時間):30,000Hr
ステージ質量:773g
可動質量 :461g
RoHS:適合
真空対応オプション:高真空(HV)1.4×10-5Pa(10-7 Torr)まで
          超高真空(UHV)1.4×10-8Pa(10-10 Torr)まで

〇性能仕様
移動範囲(mm):±10°
エンコーダー分解能:標準 0.171arc sec.(オプション 0.0171arc sec.)
双方向繰り返し精度:標準 2arc sec.(オプション 0.2arc sec.)
各モードの最小送り量:(エンコーダ制御に依存)
ACモード0.165arc sec.
UHRモード0.0082arc sec.
DCモード0.000165arc sec.
FZくさび形ステージ(精密位置決め装置)
FZくさび形ステージ(精密位置決め装置) 製品画像
〇機械的特性(FBZ085010)
ステージプレート素材:アルミニウム-黒アルマイト
モータ:HR8モータ(ピエゾ超音波定在波モータ)
ベアリングタイプ:精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付
エンコーダ:ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ
ケーブル⾧:3m
MTBF(平均故障時間):30,000Hr
ステージ質量:1300g
可動質量:310g
RoHS:適合
真空対応オプション:高真空(HV)1.4×10-5Pa(10-7 Torr)まで
          超高真空(UHV)1.4×10-8Pa(10-10 Torr)まで
〇性能仕様
移動範囲(mm):10mm
エンコーダー分解能:標準 10nm
双方向繰り返し精度:標準 0.1μm
精度 標準:3μm
各モードの最小送り量
(エンコーダと制御に依存) :ACモード100nm
              UHRモード5nm
              DCモード<1nm
【真空対応】特注で作る精密位置決めステージシステム
【真空対応】特注で作る精密位置決めステージシステム 製品画像
【主な超音波】
■HRモータ(標準型)
1μm~250mm/sec速度範囲、1nmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 
■SEモータ(最新型)
1μm~500mm/sec速度範囲、サブnmのステップ分解能、最大32Nの駆動力
■EDGEモータ(小型軽量)
最速120mm/sec、100nmのステップ分解能、300mNの駆動力、質量0.55g
【第11回 おおた研究・開発フェア】出展製品について
【第11回 おおた研究・開発フェア】出展製品について 製品画像
【開催概要】
■日時:2021年10月7日(木)~10月8日(金)
■場所:第11回 おおた研究・開発フェア ONLINE 特設ウェブサイト
■URL:https://www.nikkansc.co.jp/otardfair11online/
※特設ウェブサイトは12月末まで掲載予定です。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【SEMICON Japan 2021】 出展製品について
【SEMICON Japan 2021】 出展製品について 製品画像
【開催概要】
■日時:2021年12月15日(水)~12月17日(金)
■場所:東京ビッグサイト

【小間番号】
西展示棟 2824

■URL:https://www.semiconjapan.org/jp

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【試作市場2022】 出展製品について
【試作市場2022】 出展製品について 製品画像
【開催概要】
■日時:2022年3月3日(木)~2月4日(金)
■場所:大田区産業プラザPiO

【小間番号】
21

■URL:http://www.nikkan-event.jp/sb/

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【Japan Robot Week 2022】 出展製品について
【Japan Robot Week 2022】 出展製品について 製品画像
【開催概要】
■日時:2022年10月19日(木)~19月21日(金)
■場所:東京ビッグサイト 西ホール

【小間番号】
J-65​

■URL:https://biz.nikkan.co.jp/eve/s-robot/

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【真空にも対応】精密位置決めステージシステム
【真空にも対応】精密位置決めステージシステム 製品画像
【主な超音波】
■HRモータ(標準型)
1μm~250mm/sec速度範囲、1nmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 
■SEモータ(最新型)
1μm~500mm/sec速度範囲、サブnmのステップ分解能、最大32Nの駆動力
■EDGEモータ(小型軽量)
最速120mm/sec、100nmのステップ分解能、300mNの駆動力、質量0.55g
【SEMICON Japan 2023】位置決めステージシステム
【SEMICON Japan 2023】位置決めステージシステム 製品画像
【開催概要】
■日時:2023年12月13日(水)~12月15日(金)
    10;00~17:00
■場所:東京ビッグサイト 東5ホール
■:小間番号 5512

■URL:https://www.semiconjapan.org/jp

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