【その他の特長】
■電力なしで3.5~28Nの静止保持力
■1.4×10^-8Pa(10^-10torr)までの高真空対応
■電磁場を発生させない
■回転部のないシンプル構造なダイレクトドライブ
■HRモータはダイレクトドライブなので直接ステージを動かせる
■取付方向も縦横どちらでも可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
■電力なしで3.5~28Nの静止保持力
■1.4×10^-8Pa(10^-10torr)までの高真空対応
■電磁場を発生させない
■回転部のないシンプル構造なダイレクトドライブ
■HRモータはダイレクトドライブなので直接ステージを動かせる
■取付方向も縦横どちらでも可能
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