■電力なしで3.5~28Nの静止保持力
■1.4×10^-8Pa(10^-10torr)までの高真空対応
■電磁場を発生させない
■回転部のないシンプル構造なダイレクトドライブ
■HRモータはダイレクトドライブなので直接ステージを動かせる
■取付方向も縦横どちらでも可能
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
HRモータに最適化した標準ステージ 単軸、多軸のモーションステージをご提供
ナノモーションの標準ステージは、半導体、バイオメディカル、および計測機器市場での幅広いアプリケーション向けに、単軸および多軸モーション性能を提供します。
ナノモーションの標準ステージは、HRモータ(ナノモーション製超音波モータ)で駆動され、光学式エンコーダを備えたクローズドループサーボモーションで構成されます。モジュラー設計による取り付けは、標準アングルブラケットを使用して簡単にマウントすることができます。すべての軸には、精密な位置決めを可能とする高い剛性と光学式エンコーダを備えた精密クロスローラベアリングを使用しています。
標準ステージは下記の分類があります。
・FBリニアステージ
・FRロータリーステージ
・FGゴニオステージ
・FZくさび形ステージ
これらのステージは、標準的な大気圧モデル、ISOクラス3のクリーンルーム対応モデル、真空モデルを提供しています。
また、標準的ステージに適さないアプリケーションについてはカスタム対応致します。お気軽にご相談ください。
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社工苑