株式会社工苑

実績・事例集『放射光施設の分析用回転ステージ』

最終更新日: 2021-06-18 10:36:52.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

超音波モータを用いた高真空の放射光施設向けに設計・製作した高精密位置決めのロータリーステージ。
超音波モータ用標準ステージではなく、用途に合わせてカスタムメイドで設計・製作した分析用回転ステージの紹介です。

1. Nanomotion社の超音波モータHRを使用
2. サイズはW110xL160xT50、ステージ直径はΦ60
3. 10-6Paの高真空仕様
4. 非磁性仕様
5. 粗動では1パルスで0.1μradで駆動
6. 精密微動では0.8nm/V相当(アクチュエータにて)で駆動
6. 制御コントローラは米国GALIL社のモーションコントローラを使用

関連情報

超音波モータ『HRシリーズ』
超音波モータ『HRシリーズ』 製品画像
【その他の特長】
■電力なしで3.5~28Nの静止保持力
■1.4×10^-8Pa(10^-10torr)までの高真空対応
■電磁場を発生させない
■回転部のないシンプル構造なダイレクトドライブ
■HRモータはダイレクトドライブなので直接ステージを動かせる
■取付方向も縦横どちらでも可能

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
FRロータリーステージ(精密位置決め装置)
FRロータリーステージ(精密位置決め装置) 製品画像
〇機械的特性(例:FRS060360)
ステージプレート素材:アルミニウム-黒アルマイト
モータ:HR2モータ
ベアリングタイプ:精密クロスローラベアリング、ローラ移動・滑り防止機能付
エンコーダ:ゴールドテープスケールの光学式リニアエンコーダ
ケーブル⾧:3m
MTBF(平均故障時間):30,000Hr
ステージ質量:581g
可動質量:268g
可動慣性質量:0.102gr-m²
RoHS:適合
真空対応オプション:高真空(HV)1.4×10-5Pa(10-7 Torr)まで
          超高真空(UHV)1.4×10-8Pa(10-10 Torr)まで

〇性能仕様
移動範囲(mm):nx 360
エンコーダー分解能:標準 5arc sec.(オプション 0.5arc sec.)
双方向繰り返し精度:標準 50arc sec.(オプション 5arc sec.)
精度 標準: 10arc sec.(オプション 5arc sec.)
超音波モータHRシリーズ搭載、標準ステージ
超音波モータHRシリーズ搭載、標準ステージ 製品画像
Nanomotion社の標準ステージは、HRモータ(Nanomotion製超音波モータ)で駆動され、光学式エンコーダを備えたクローズドループサーボモーションで構成されます。モジュラー設計による取り付けは、標準アングルブラケットを使用して簡単に取り付けすることができます。すべての軸には、精密な位置決めを可能とする高い剛性と光学式エンコーダを備えた精密クロスローラベアリングを使用しています。

標準ステージは下記の分類があります。
・FBリニアステージ
・FRロータリーステージ
・FGゴニオステージ
・FZくさび形ステージ

これらのステージは、標準的な大気圧モデル、ISOクラス3のクリーンルーム対応モデル、真空モデルを提供しています。

また、標準的ステージに適さないアプリケーションについてはカスタム対応致します。お気軽にご相談ください。
【真空対応】特注で作る精密位置決めステージシステム
【真空対応】特注で作る精密位置決めステージシステム 製品画像
【主な超音波】
■HRモータ(標準型)
1μm~250mm/sec速度範囲、1nmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 
■SEモータ(最新型)
1μm~500mm/sec速度範囲、サブnmのステップ分解能、最大32Nの駆動力
■EDGEモータ(小型軽量)
最速120mm/sec、100nmのステップ分解能、300mNの駆動力、質量0.55g
【試作市場2022】 出展製品について
【試作市場2022】 出展製品について 製品画像
【開催概要】
■日時:2022年3月3日(木)~2月4日(金)
■場所:大田区産業プラザPiO

【小間番号】
21

■URL:http://www.nikkan-event.jp/sb/

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【Japan Robot Week 2022】 出展製品について
【Japan Robot Week 2022】 出展製品について 製品画像
【開催概要】
■日時:2022年10月19日(木)~19月21日(金)
■場所:東京ビッグサイト 西ホール

【小間番号】
J-65​

■URL:https://biz.nikkan.co.jp/eve/s-robot/

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【真空にも対応】精密位置決めステージシステム
【真空にも対応】精密位置決めステージシステム 製品画像
【主な超音波】
■HRモータ(標準型)
1μm~250mm/sec速度範囲、1nmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 
■SEモータ(最新型)
1μm~500mm/sec速度範囲、サブnmのステップ分解能、最大32Nの駆動力
■EDGEモータ(小型軽量)
最速120mm/sec、100nmのステップ分解能、300mNの駆動力、質量0.55g

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