株式会社工苑

小型スキャンモジュール(EDGEモータ)

最終更新日: 2022-04-11 10:43:25.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

小型スキャンモジュール:ポータブル分光機器で採用実績あり
ポータブル分析機器では、小型で高精度なモーションモジュールが必要です。Nanomotion社では、小型・軽量そして省電力動作が可能な、独自開発のEDGE超音波モーターをベースにした、スキャンモジュールを開発しました。

〇特徴
・0.24umの高分解能で最大5mmの移動量。
・小型位置センサー、低摩擦ベアリングを搭載。
・ポータブル機器での使用に適した省スペース構成。

モジュール駆動制御部は、チップレベルまたは小型カスタムボードとして提供可能です。

お気軽にお問合せ下さい。

関連情報

小型超音波モータ(ピエゾモータ)『EDGEモータ』
小型超音波モータ(ピエゾモータ)『EDGEモータ』 製品画像
【主な特徴】
■市販のサーボコントローラと連携しやすい。
■小型
 EDGE  13.5mm x 7.6mm x 3.15mm
 EDGEx4 22.8mm x 12.4mm x 4.3mm
■省電力
 EDGE  0.75W
 EDGEx4 2W
■軽量
 EDGE  0.55g
 EDGEx4 2.2g
■ダイナミック速度範囲が広い
■移動、停止性能に優れる
【真空対応】特注で作る精密位置決めステージシステム
【真空対応】特注で作る精密位置決めステージシステム 製品画像
【主な超音波】
■HRモータ(標準型)
1μm~250mm/sec速度範囲、1nmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 
■SEモータ(最新型)
1μm~500mm/sec速度範囲、サブnmのステップ分解能、最大32Nの駆動力
■EDGEモータ(小型軽量)
最速120mm/sec、100nmのステップ分解能、300mNの駆動力、質量0.55g
【SEMICON Japan 2021】 出展製品について
【SEMICON Japan 2021】 出展製品について 製品画像
【開催概要】
■日時:2021年12月15日(水)~12月17日(金)
■場所:東京ビッグサイト

【小間番号】
西展示棟 2824

■URL:https://www.semiconjapan.org/jp

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
【真空にも対応】精密位置決めステージシステム
【真空にも対応】精密位置決めステージシステム 製品画像
【主な超音波】
■HRモータ(標準型)
1μm~250mm/sec速度範囲、1nmのステップ分解能、最大32Nの駆動力 
■SEモータ(最新型)
1μm~500mm/sec速度範囲、サブnmのステップ分解能、最大32Nの駆動力
■EDGEモータ(小型軽量)
最速120mm/sec、100nmのステップ分解能、300mNの駆動力、質量0.55g

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