超音波モータHRシリーズ搭載、標準ステージ 単軸、多軸のモーションステージをご提供
Nanomotion社の標準ステージは、半導体、バイオメディカル、および計測機器市場での幅広いアプリケーション向けに、単軸および多軸モーション性能を提供します。
Nanomotion社の標準ステージは、半導体、バイオメディカル、および計測機器市場での幅広いアプリケーション向けに、単軸および多軸モーション性能を提供します。
JASIS2023_KOENN
セミナー・イベント
掲載開始日:
2023-07-30 00:00:00.0
当社は、2023年9月6日(水)～9月8日(金)に幕張メッセにて開催される
「 JASIS 2023 最先端科学・分析システム & ソリューション展」に出展いたします。
当展示会では、超音波モータ駆動の高精度位置決めステージをメインにご紹介いたします。
製造元のナノモーション社の超音波モータ(ピエゾモータ)は、半導体製造装置や工学試験・分析機器などに20年以上の納入実績があります。
また国産の光学用シャッターもデモ展示いたします。
【出展製品】
■超音波モータ(ピエゾモータ)「SE モータ」
■超音波モータ(ピエゾモータ)「HR モータ」(デモあり)
■光学用シャッター（デモあり）
皆様のご来場を心よりお待ちしております。
| 開催日時 | 2023年09月06日（水） ～ 2023年09月08日（金） 10:00 ～ 17:00 |
|---|---|
| 会場 |
【開催概要】 ■JASIS 2023 最先端科学・分析システム & ソリューション展 ■日時：2023年9月6日(水)～9月8日(金) ■場所：幕張メッセ国際展示場 【小間番号】 6A-405 ■URL：https://www.jasis.jp/ |
| 参加費 |
無料 |
関連製品情報
超音波モータ標準ステージだけではあと一歩実現できない装置向けに、カスタムメイドでステージを設計・製作★宇宙での実績あり
開発のための試作や小ロットでの生産などの用途向けに、超音波モータを使用した高速移動・精密位置決め・真空対応のステージを設計・製作します。 Nanomotion社の超音波モータは、バックラッシのないダイレクトドライブで、無通電でステージを保持できます。 また高真空中で使用でき、MRIやイオンビームの用途では非磁性モデルも用意しております。 ■半導体製造評価用1nm多軸精密ステージ SEモータを使ったサブnmのステップ分解能を持つ真空チャンバ内で使用される3軸ステージ。半導体の7nmプロセス開発用に製作。 ■低軌道衛星向けレーザ通信用多軸プラットフォーム アクチュエータによる人工衛星の絶えない振動を超音波モータのステージでキャンセルし地球とのレーザ通信を可能としています。 ■ウェハ検査用レンズ駆動モジュール 小型のEDGEモータを使用したオートフォーカス・モジュール。 ※その他は下部の「実績例」をご参照ください。 その他、医療機器、分光装置、光学アライメント、分析機器など幅広く使用できるNanomotion社の超音波モータ。試作・開発のお手伝いをいたします。
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1μradまでのさまざまな速度、力、位置決め要件に対応
FRロータリーステージ（FRS060）は、超音波モータ、クロスローラーベアリング、非接触高解像度ロータリーエンコーダを利用して、最もコンパクトな設置面積を提供します。さまざまなエンコーダ分解能とモーターを組み合わせることで、FRS060は、1μradまでのさまざまな速度、力、および位置決め要件に対応できます。 FRS060ロータリーステージは、標準、真空、およびUHV構成で利用できます。
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10nm分解能で位置決め！単軸、多軸に対応したリニアステージ
FBリニアステージは、単軸および多軸アプリケーションで使用できます。 ステージ構成は、クロスローラーベアリング、リニア光学式エンコーダ、およびナノモーション社の超音波（ピエゾ）モータを利用しています。 ステージは幅広い移動⾧で提供され、X / YまたはX / Y / Zまたは他の多軸構成で組み合わせることができます。 エンコーダの分解能は、0.1μｍ、1μｍ、0.5μｍ、50nm、10nmの中から選択可能です。
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ナノモーション社が扱う最小の工業用超音波モータ（ピエゾモータ）
EDGEモータはナノモーション社が扱う最小の工業用超音波モータ（ピエゾモータ）です。 このモータは、コンパクトなASICベースのドライバで駆動され、市販の多くのサーボ・コントローラとつないで制御が可能です。特に量産機器に最適です。
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高分解能、高速応答性、省スペース！制限のない可動範囲と高い応答性！
『HRシリーズ』は、直線および回転ステージを動かすのに用いられる 超音波モータ（ピエゾモータ）です。 速度は数μm/secから250mm/secまでの広い可変域を持ち一般的な 摩擦抵抗の少ないステージなどの機器に簡単に取り付けられます。 単体エレメントから８つのエレメントを重ね合わせたモータまで 各種ラインアップ。真空仕様品もございます。 【特長】 ■10nmのステップ分解能 ■AB2アンプのDCモードなら1nmのステップ分解能を実現 ■1μm/sから250mm/sまでのワイドな速度範囲 ■制限のない可動範囲と高い応答性 ■4～32Nの抜群の駆動力 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 また、『HR』シリーズに最適化したドライバ『ABドライバ』シリーズも取り扱っております。 こちらも、お気軽にお問合せください。
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32Nの駆動力で最高高速500mm/sec！消費電力は従来製品の半分に
『SE モータ』は、ナノモーション社における計測、半導体、光学、防衛の 分野での超音波モータ（ピエゾモータ）の豊富な経験を基に、製品ラインを拡充します。 高剛性、高速駆動、サブナノメートルのモーション分解能を実現するため、 より効率的な駆動コアを組み込んだ、拡張モータ構造に基づき設計されました。 ナノモーション社の既存「HR モータ」と比較して、当製品は2倍の速度と 同じ駆動力を提供し、消費電力は半分になります。 【特長】 ■高真空アプリケーション ■サブナノメートルの位置決め精度 ■優れたエネルギー変換効率 ■幅広い動的な速度範囲 ■ゼロバックラッシュと高い剛性 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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