- 高出力レーザーを照射することのより、ハードディスク表面やサファイヤ基板表面の微小欠陥を検出します。
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- ウェーハ表面欠陥検査装置『Laser Explorer』
- 透明ウェーハも高速検査!高出力レーザーが微小な傷・パーティクルを検出!
- 最終更新日:2022-11-30 10:04:57.0
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- ハードディスク表面欠陥検査装置 Laser Explorer
- ハードディスク表面のスクラッチ、ピットなどの微細な表面欠陥を検出
- 最終更新日:2019-12-25 17:33:38.0
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