半導体製造工程ではウェハ保護用の耐熱テープが使用され、その基材として、主にPETなどポリエステル系フィルムが使用されています。 最近では半導体の新製品開発や、製造工程の最適化のため従来よりも高耐熱性(200℃以上)がテープに求められるケースが増えてきておりますが、ポリエステル系では耐熱性が足りず、また耐熱フィルムのポリイミドでは透明性が損なわれるという課題がありました。 クラボウでは、半導体製造における200℃以上の高温プロセスにも適用できる耐熱性と透明性を兼ね備えたPEEKフィルム「EXPEEK」を開発。製造工程の設計自由度アップに寄与できるため、半導体メーカーやテープメーカーから注目を集めているフィルムです。 【特長】 ■高温環境下でも寸法変化が非常に小さいフィルム ■高耐熱:200℃以上でも熱収縮率が低い、融点 343℃、Tg(TMA)320℃ ■高透明:全光線透過率83%、UVは370nm以上から透過 ■低吸水性:0.07% ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
クラボウは、東京ビッグサイトで開催される『SEMICON JAPAN』に出展いたします。
<出展商品>
・高機能フィルム
半導体工程テープ用では、昨年も出展している伸縮性や柔軟性を持つダイシングテープ向けフィルムに加えバックグラインドテープ向けの新商材を用意しています。
また、耐熱性と透明性を兼ね備えた特殊耐熱フィルム「エクスピーク」や高速通信用低誘電フィルム「オイディス」を出展します。
・薬液濃度計
高い計測性能を持つ「ChemicAlyzer Ace-3」を始め、目的に応じた液体成分濃度計3モデルを紹介します。
参考出展として非接触でリアルタイムに液体成分を計測するIn-Situ液体成分モニタやIn-Situ小型サーモカメラなども出展します。
・樹脂加工品
樹脂加工品では、熊本事業所が保有する総合対応力をご紹介。
切削加工、溶融成形などの樹脂加工技術、洗浄処理のパーツ洗浄技術、計測・評価など総合的なサポートをご紹介します。
・薬液用フィルター
クラボウグループの倉敷繊維加工から、微量金属イオン除去できる薬液用フィルター「クラングラフト」を出展します。
開催日時 | 2022年12月14日(水) ~ 2022年12月16日(金) 10:00 ~ 17:00 https://www.semiconjapan.org/jp |
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会場 |
会場:東京ビッグサイト 東展示棟4-5ホール 住所:135-0063 東京都江東区有明3丁目11-1 クラボウブース:4825 |
参加費 |
無料 ※完全事前登録制 |
お問い合わせ
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クラボウ(倉敷紡績株式会社)