共栄社化学株式会社

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ウェーハ間の隙間に入り込んだ汚れを除去【油性スラリー用洗浄剤】

最終更新日: 2019-06-13 11:10:51.0
高い洗浄力を有し、長期間使用可能!消防法の危険物には該当しない準水系洗浄剤

『エクセムライトDS-818』は、グリコールエーテル系溶剤、炭化水素系溶剤、
界面活性剤、水から構成された高性能準水系洗浄剤です。

スライスオイルの溶解性に優れ、ウェーハ間の隙間に入り込んだ汚れを
効果的に除去します。

また使用中、スラリーが混入してきますが、良好な洗浄性を維持出来ますので、
長期間の使用が可能です。

【特長】
■ウェーハ間の隙間に入り込んだ汚れを効果的に除去
■高い洗浄力を有しているため、水洗後のウェーハは非常にきれい
■良好な洗浄性を維持でき長期間の使用が可能
■消防法の危険物には該当しない
■PRTR法に該当しない

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

基本情報

【代表性状】
■外観:無色透明液体
■比重(20°C):0.88
■粘度(40°C):5.9mm2/s
■水分:8%

【荷姿】
■16kg:石油缶
■170kg:ドラム缶

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
用途/実績例 【用途】
■シリコン、水晶、石英ガラス、化合物半導体、セラミックスなどの
 ワイヤーソー による切断加工後のスラリー(油性)の除去

※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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