上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
カタログ発行日：2013/9/20
電池駆動式で真空チャンバー内に入れるだけで圧力変化を可視化することができます。 プロセスチャンバで真空測定を直接行うことができる。TM101 ハンドセットで取得した測定データは、ソフトウェアを用いてさらに加工することも可能です。
７桁（1200〜5x10-4 mbar）にわたる真空測定が可能なだけではありません。
調整可能なガス補正係数、最小・最大値メモリ機能を提供するほか、
15 mbar を超える圧力ではガス種に影響されない圧力測定を可能にします。
データロギング機能により、2000 まで記録できる測定データを、内部メモリからUSB インタフェースを
通してパソコンに転送することが可能です。
またTM101 用に特別に開発されたVacuGraphバキュグラフソフトウェアを用いて、圧力データの保存記録や
ビジュアル化を行うことができます。
その後測定データをASCII ファイルでMicrosoft Excel などにエクスポートすることも可能です。
保護ケースは、長時間測定用ワイドレンジ電源ユニット、インタフェースケーブル、VacuGraphバキュグラフ
ソフトウェアなどの付属品を安全に収容できるよう設計されています。
関連情報
【無料デモ可】ピエゾ＆ピラニ真空計THERMOVAC TM101
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測定原理
TM 101は2つの異なる物理測定方式を採用することとで測定レンジの全てにおいて高分解能を実現しています。
TM 101は低真空測定用にピエゾセンサを内蔵。薄いダイアフラムが曲がる圧力の間だけ抵抗ブリッジがバックに接続されます。これにより抵抗値が変化し全圧に加算されます。気体の熱伝導率を真空測定に使う内蔵ピラニセンサーは高真空レンジで適用されます。フィラメントはブリッジ回路によって一定の温度に保たれています。必要ブリッジ電圧が全圧測定値に変換されます。
ピエゾ/ピラニコンビネーションセンサは気体の種類に関わらず>15mbarを測定可能です。低真空測定レンジでは調整可能な気体補正係数の導入で測定を可能にしています。
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