ライボルト株式会社

20000時間保守無運転!ルーツポンプ(メカニカルブースター)

最終更新日: 2022-07-29 09:18:21.0

  • カタログ

堅牢なルーツポンプ。3つのモーター接続構造。摩耗部分を少なくし長寿命実現。

エリコンライボルトのルーツポンプ(メカニカルブースターポンプ)には、次の4シリーズがあります。
・ルーツ真空ポンプRUVAC WA/WAU:空冷、フランジ型モータ※タイプ
・ルーツ真空ポンプRUVAC WS/WSU:空冷、キャンドモータ※※タイプ
・ルーツ真空ポンプRUVAC WH/WHU:水冷、ハーメチックモータ※※※タイプ
・ルーツ真空ポンプRUVAC WSLF:レーザガスシステム用


※フランジ型モータではモータとポンプの駆動軸がカップリングで直結され、駆動軸はシャフトシールで密閉されています
※※キャンドモータではモータ内のロータとステータが非磁性体の気密キャンで分離されています。ロータ側が真空中となりますが、摩耗を受ける軸シールを使用しません
※※※ハーメチックモータはモータアセンブリの全てが真空内に組み込まれており、軸シールを使用せず、最もコンパクトかつ効率的なモータ技術です

エリコンライボルトのルーツポンプのうち、WAU、WSU、WHUには吸気口と排気口を接続する差圧バルブを内蔵したバイパスラインを備えており、大気圧から補助ポンプと同時にスイッチを入れることを可能とするとともに高い吸気口圧力においても排気速度を上げることができます。
価格帯 お問い合わせください
納期 お問い合わせください
型番・ブランド名 RUVACシリーズ
用途/実績例 【WA/WAU251、WA/WAU(H)501~2001】
・真空コーティング
・化学/薬品
・金属/加熱炉
・包装
・集中真空供給システム
・凍結乾燥
・電気エンジニアリング
・機械エンジニアリング
・自動車工業

【WS/WSU251, WS/WSU(H)501~2001】
・大規模研究
・金属/加熱炉
・電球と真空管製造
・凍結乾燥
・リーク試験システム
・電気エンジニアリング
・高純度ガス/冷媒循環サイクル
・機械エンジニアリング
・自動車工業

【WH700】
・半導体製造
・真空コーティング
・金属/加熱炉
・真空集中供給システム
・凍結乾燥
・リーク試験システム
・電気エンジニアリング
・高純度ガス/冷媒循環サイクル
・機械エンジニアリング
・自動車工業

【WH/WHU 2500/4400/7000】
・真空コーティング
・大規模研究
・金属/加熱炉
・真空集中供給システム
・リーク試験システム
・電気エンジニアリング
・高純度ガス/冷媒循環サイクル
・機械エンジニアリング
・自動車工業
ラインアップ
型番 概要
WA/WAU 251 設計排気速度:253m3/h(50Hz), 304m3/h(60Hz) 到達全圧:8x10E-4mbar 空冷フランジ型モータ構造
WA/WAU(H) 501 設計排気速度:505m3/h(50Hz), 606m3/h(60Hz) 到達全圧:4x10E-2mbar 空冷フランジ型モータ構造
WA/WAU(H) 1001 設計排気速度:1000m3/h(50Hz), 1200m3/h(60Hz) 到達全圧:4x10E-4mbar 空冷フランジ型モータ構造
WA/WAU(H) 2001 設計排気速度:2050m3/h(50Hz), 2460m3/h(60Hz) 到達全圧:4x10E-2mbar 空冷フランジ型モータ構造
WS/WSU 251 設計排気速度:253m3/h(50Hz), 304m3/h(60Hz) 到達全圧:8x10E-4mbar 空冷キャンドモータ構造
WS/WSU(H) 501 設計排気速度:505m3/h(50Hz), 606m3/h(60Hz) 到達全圧:4x10E-2mbar 空冷キャンドモータ構造
WH700 設計排気速度:710m3/h(50Hz), 860m3/h(60Hz), 1150m3/h(80Hzインバータモータ使用), 1730m3/h(120Hzインバータモータ使用) 水冷ハーメチックモータ
WH/WHU 2500 設計排気速度:2500m3/h(50Hz), 3000m3/h(60Hz), 4000m3/h(80Hzインバータモータ使用), 5000m3/h(100Hzインバータモータ使用) 水冷ハーメチックモータ
WH/WHU 4400 設計排気速度:4400m3/h(50Hz), 5280m3/h(60Hz), 7040m3/h(80Hz外部インバータ付) 水冷ハーメチックモータ
WH/WHU 7000 設計排気速度:7000m3/h(50Hz), 8400m3/h(60Hz), 9800m3/h(70Hz外部インバータ使用) 水冷ハーメチックモータ
WSLF 1001 設計排気速度:1000m3/h(50Hz), 1200m3/h(60Hz) レーザーガスシステム用、炭化水素フリー

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