最終更新日:
2023-09-21 09:12:22.0
ピッチ系CFRP製の『半導体ウエハ搬送ハンド』は、軽量、たわみが小さい、振動減衰が速い、導電性が高い、といった特徴があります！
『ピッチ系CFRP』は軽量・高剛性の特長があり、ウエハ搬送ハンドの軽量化や、荷重たわみの低減を可能とします。
また、ピッチ系CFRPを使用したウエハ搬送ハンドは振動減衰が速く、装置のタクトタイム短縮に貢献しています。
【ウエハ搬送ハンドにCFRPを使用するメリット】
■比弾性率（弾性率÷重量）が大きく、ハンドの軽量化・薄肉設計・たわみ低減が可能
■振動減衰性に優れ、高速駆動・タクトタイム短縮が可能
■導電性を高めることで、帯電防止が可能
【よくあるニーズ】
■装置内のスペースが狭いので、ハンドの厚みを薄く、たわみを小さくしたい
■ワークの重量が重くなるので、ヤング率の高い材料を採用したい
■高速で駆動したいので、ハンドの軽量化が必要
■タクトタイム短縮のために、ハンドの振動を速く抑えたい
【三菱ケミカルでできること】
炭素繊維やプリプレグの製造、販売だけでなく、これらの材料を用いた製品設計が可能です。
また、成形・加工・組立・コーティング・検査まで一貫して対応できます。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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三菱ケミカル株式会社 コンポジットパーツ本部 Asia事業部
