ウェーハ搬送ロボット(FIロボット)OH修理、コントローラ修理 カタログ
交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。また、短納期でOH修理対応致します。
最終更新日：
2023-11-01 11:56:49.0製品カタログ
半導体関連製品
半導体関連製品のご紹介です。
ガラス状カーボン (耐薬品性・耐腐食性に優れた炭素材料) カタログ
ガラス状カーボンは炭素材料の一種であり、半導体製造装置用部品に使用実績あり。高純度化も可能です。
最終更新日：
2023-03-23 15:35:38.0
石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ) カタログ
縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。世界トップクラスの納入実績(400台以上)
最終更新日：
2023-03-22 15:05:50.0製品カタログ
太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S) カタログ
結晶Si太陽電池セル量産用 NSG(SiO2)/PSG/BSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置
最終更新日：
2023-03-22 14:28:11.0製品カタログ
小規模生産・開発用常圧CVD(APCVD)装置 (D501) カタログ
試作・開発・小ロット生産向け NSG(SiO2)/BSG/PSG/BPSG膜成膜用 バッチ式(複数枚同時処理)APCVD装置
最終更新日：
2023-03-22 14:27:48.0製品カタログ
高性能枚葉式常圧CVD(APCVD)装置 (A200V) カタログ
少量・多品種向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 枚葉式常圧CVD(APCVD)装置(8インチSiCウェハ対応)
最終更新日：
2023-03-22 14:26:25.0製品カタログ
スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」 カタログ
機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備！RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用
最終更新日：
2023-03-22 15:05:29.0製品カタログ
高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX1200) カタログ
量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置(12インチウェハ対応)
最終更新日：
2023-03-22 14:52:34.0製品カタログ
高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX800V) カタログ
量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置 (8インチウェハまで対応)
最終更新日：
2023-03-22 14:52:03.0製品カタログ
着脱式 保温断熱カバー カタログ
要求仕様に合った断熱材を選択し使用して、表面温度を約60%前後(t15の断熱材で200℃→65℃）下げ、省エネ効果を発揮。
最終更新日：
2023-02-06 10:56:26.0製品カタログ
表面改質処理加工・治具洗浄 (トムコ) カタログ
治具・部品のメンテナンスは、品質維持から改善へ…。溶射＋洗浄技術で、母材を傷めず高品質に再生します。
最終更新日：
2024-03-14 14:55:41.0技術資料・事例集
SiCヒーター(炭化ケイ素発熱体) カタログ
800℃～1600℃での高温使用が可能！ガラス製造、熱処理等、電気炉用ヒーター。既存の設備へも置き換え・代替可能！
最終更新日：
2023-03-23 15:40:59.0製品カタログ
