石英ガラス製品、石英ガラス加工品「半導体製造プロセスで活躍」
弊社グループ会社にて石英ガラス製品を製造、国内・海外の半導体デバイスメーカー及びシリコンメーカーへ多数納入実績あり。
最終更新日：
2023-11-01 10:50:20.0
半導体関連製品
半導体関連製品のご紹介です。
高純度アルミナセラミックスADS「電気絶縁性、高強度、耐摩耗性」
ADSアルミナセラミックスは、吸水率が0.01％以下と非常に緻密な焼結体で、高強度、耐摩耗性、化学的安定性などに応えます！
最終更新日：
2023-11-01 11:16:47.0
高純度黒鉛製品「半導体をはじめ様々な産業で活躍」
半導体をはじめ様々な産業で活躍 高密度/高純度な特殊炭素材料 SiC膜を被覆したClear Carbon
最終更新日：
2023-11-01 11:20:35.0
炭化けい素セラミックス(TPSS)「高純度、高強度、高耐食性」
高純度、高強度、高耐食性を兼ね備えた半導体製造プロセスに欠かせない半導体関連材料！
最終更新日：
2023-11-01 11:14:06.0
表面改質処理加工・治具洗浄「溶射・洗浄による品質改善」
治具・部品のメンテナンスは、品質維持から改善へ…。溶射＋洗浄技術で、母材を傷めず高品質に再生します。
最終更新日：
2023-11-01 11:46:37.0
小規模生産・開発用常圧CVD(APCVD)装置 (D501)
試作・開発・小ロット生産向け NSG(SiO2)/BSG/PSG/BPSG膜成膜用 バッチ式(複数枚同時処理)APCVD装置
最終更新日：
2023-11-01 10:39:39.0
高性能枚葉式常圧CVD(APCVD)装置 (A200V)
少量・多品種向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 枚葉式常圧CVD(APCVD)装置(8インチSiCウェハ対応)
最終更新日：
2023-11-01 10:36:42.0
太陽電池セル量産用連続式常圧CVD装置 (AMAX1000S)
結晶Si太陽電池セル量産用 NSG(SiO2)/PSG/BSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置
最終更新日：
2023-11-01 10:40:28.0
高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX800V)
量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置 (8インチウェハまで対応)
最終更新日：
2023-11-01 10:37:55.0
高生産性連続式常圧CVD(APCVD)装置 (AMAX1200)
量産向け NSG(SiO2)/PSG/BPSG膜成膜用 高生産性 連続式常圧CVD(APCVD)装置(12インチウェハ対応)
最終更新日：
2023-11-01 10:38:50.0
スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」
機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備！RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用
最終更新日：
2023-11-01 10:42:34.0
ウェハ搬送移載装置「ピッチ変換」「Face to Face移載」
カセット内のウエハを異なるカセットへ自動移載、2カセット同時やピッチ変換・FtoF(BtoB)等の機能を付加可能
最終更新日：
2023-11-01 10:44:17.0
SiCダミーウェハ「超高純度、高耐熱性、高耐摩耗性を実現」
独自のCVD-SiCで製作され、超高純度、高耐食性、高耐酸化性、高耐熱性、高耐摩耗性の特性を持ちます。
最終更新日：
2023-11-01 11:17:39.0
石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」
縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。世界トップクラスの納入実績(400台以上)
最終更新日：
2023-11-01 10:45:23.0
ガラス状カーボン「耐薬品性・耐腐食性に優れた炭素材料」
ガラス状カーボンは炭素材料の一種であり、半導体製造装置用部品に使用実績あり。高純度化も可能。
最終更新日：
2023-11-01 11:18:39.0
最大1600℃の電気炉向けヒーター｜SiCヒーター（炭化ケイ素）
800℃～1600℃での高温使用が可能！ガラス製造、熱処理など、電気炉に適したヒーター。既存の設備へも置き換え・代替可能！
最終更新日：
2023-11-01 11:21:49.0
二珪化モリブデン(MoSi2)ヒーター 最高1800℃使用可能！
二珪化モリブデンヒーター: 繰り返し使用が可能で高寿命、お客様に合わせた設計が可能
最終更新日：
2023-11-01 11:22:38.0
管状炉(カンタルヒーター)「高温炉用」「各種形状に対応」
半導体熱処理や工業用熱処理まで、各種形状、各種発熱体に対応、高温炉に対応可能な管状炉です。
最終更新日：
2023-11-01 11:23:31.0
インライン・ガスフィルター CEPURE「より高いガス置換特性」
圧力損失を低減するデザインと共に、ろ過特性、ガス置換特性等ガスフィルターに求められる特性面も優れています！高純度アルミナを使用
最終更新日：
2023-11-01 11:25:27.0
溶融シリカ質耐火物 (GLASSUN)「低い熱伝導率」
高純度の溶融ケイ酸質原料を主成分とする耐火物GLASSUN 熱衝撃への強い耐久力、低い熱伝導率が応用範囲の広さを実現
最終更新日：
2023-11-01 11:35:23.0
シリコンウエハ研磨用キャリア「短納期、少量ロット対応も可能」
シリコンウエハ製造のラッピング、ポリッシング工程でのウエハホルダーとして使用するキャリアをお客様のニーズに合わせて製作致します
最終更新日：
2023-11-01 11:32:42.0
再結晶SiC (HE801)「最適な表面改質で多くの用途に対応」
高強度、高熱伝導のSiCを基材とした熱処理用道具材。プラズマ溶射での表面改質により、多くの用途に対応。
最終更新日：
2023-11-01 11:36:22.0
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