【仕様】
測定スピード:大型レンズ 最高10mm/秒、マイクロレンズ 最高0.02mm/秒
ポジショニングスピード:200mm/秒
垂直方向解像度:0.8nm
形状偏差:<100nm
測定力:0.5mN~30mN
測定スピード:大型レンズ 最高10mm/秒、マイクロレンズ 最高0.02mm/秒
ポジショニングスピード:200mm/秒
垂直方向解像度:0.8nm
形状偏差:<100nm
測定力:0.5mN~30mN
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