マーポス株式会社

2023-11-16 00:00:00.0
SEMICON JAPAN 2023 出展のご案内

SEMICON JAPAN 2023

SEMICON JAPAN 2023

セミナー・イベント   掲載開始日: 2023-11-16 00:00:00.0

弊社は2023年12月13日(水)より東京ビッグサイトで開催される
「SEMICON JAPAN 2022」 に出展いたします。(ブース番号:2105)

本展示会では、日々進化を遂げる半導体製造プロセスの信頼性、半導体性能の向上に寄与する半導体産業専用アプリケーション及び非接触式測定器をご紹介いたします。

弊社ブースにてお目にかかれますことを、心よりお待ち申し上げております。

展示製品:
・非接触式厚さ測定ゲージ(インターフェロメトリ技術)
・非接触式距離/厚さ/膜厚測定器(クロマティックコンフォーカル技術)
・接触式/非接触式ハイブリッドアプリケーション

開催日時 2023年12月13日(水) ~ 2023年12月15日(金)
10:00 ~ 17:00
本展示会の入場には事前登録が必須です。
会場 東京ビッグサイト(東展示棟)
参加費 無料
本展示会の入場には事前登録が必要です。

関連製品情報

光干渉測定器『NCG』
光干渉測定器『NCG』 製品画像
サイクルタイムを短縮!汎用性があり、簡単に使えるように設計されている光干渉測定器

『NCG』は、光干渉技術による厚み測定器です。 連なる光の波がワークの接合部面で反射し戻された干渉により層の厚さを 計算し、計測。ガラス、プラスチック、シリコンウェハー等、異なる材質の 厚みを管理するように設計されています。 当製品は、様々なマシンに接続し、高精度かつ高速に部品の厚さ管理ができ、 スペック上の仕様制限内のドライまたはウェット環境で機械上または 機械内部で使用できます。 【特長】 ■目的の公差内の加工精度を保証 ■サイクルタイムを短縮 ■コントロールされた安定した生産を維持するための制御 ■機械的な変動に対する補正 ■測定結果の履歴 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
膜厚計測向け非接触式測定ソリューション『IRIX』
膜厚計測向け非接触式測定ソリューション『IRIX』 製品画像
色彩共焦点式技術を使用した非接触式センサーで、白色光が透過するさまざまな材料の距離と厚さを測定します。

さまざまな測定範囲、機械的寸法、測定仕様の多様な光学プローブファミリーとコントローラーを組み合わせることで、多様なアプリケーションニーズに応えることができます。 1チャンネルの「CPS1」と2チャンネルの「CPS2」の2モデルをご用意しています。 <特徴> ・白色光を反射できるさまざまな材料(例:金属、ガラス、プラスチック、塗膜、液体)の測定が可能 ・対象に触れずに測定の必要があるすべての場合で非接触式測定が可能 ・1つの光学プローブで最大5層の透明層を同時に測定可能 ・高い測定精度 ・交換可能なセンサー(最大32のマップを保存、好適なプローブを使用可能) ・7インチの一体型ディスプレイ ・熱や電気的ノイズの影響を受けないパッシブ光学プローブ ・SDKおよびプロトコルコマンドを使用することで、どのシステムにも簡単に統合可能 ・測定スポットの低減 ・エンコーダーと同期した測定(空間同期)により動的収集が可能 ・粗さの測定が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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