TiN, CrN, TiAlN等での表面改質に最適！
ワンチャンバーにホロカソードガン、アークイオンガン、スパッタガンの3ソースを搭載し、独立成膜可能。
特徴
●TiN, CrN, TiAlN等での表面改質に最適
●ワンチャンバーにホロカソードガン、アークイオンガン、スパッタガンの3ソースを搭載し、独立成膜可能。研究開発用途に最適。
●ホロカソードでの強エッジングにより界面密着力を強制的に向上させ、アークイオンもしくはスパッタで精密成膜。
● ９０ ％以上のイオン化率
● 高エネルギーのイオン蒸着 at アークイオン （６０−１００ｅＶ）
●TiN, CrN, TiAlN等での表面改質に最適
●ワンチャンバーにホロカソードガン、アークイオンガン、スパッタガンの3ソースを搭載し、独立成膜可能。研究開発用途に最適。
●ホロカソードでの強エッジングにより界面密着力を強制的に向上させ、アークイオンもしくはスパッタで精密成膜。
● ９０ ％以上のイオン化率
● 高エネルギーのイオン蒸着 at アークイオン （６０−１００ｅＶ）
| 価格情報 | - |
|---|---|
| 納期 | お問い合わせください |
| 型番・ブランド名 | ＡＩＰＳ−８００ |
| 用途／実績例 |
用途 自動車、工具、電子部品、装飾品等のハードコーティング （ＤＬＣ， ＣｒＮ 等） 装飾部品のＴｉＮコーティング 工業部品のＴｉＮコーティング 工具のＴｉＡｌＮコーティング |
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株式会社マツボー
