![サファイアウェハー 製品画像](https://images.ipros.jp/public/product/image/e80/2001176877/IPROS92448315200165771368.png?w=140&h=140)
【その他の仕様】
<2インチ>
■1次オリフラ長さ:16.0±0.8mm
■1次オリフラ方位:A-plain(11-20)±0.2°
■TTV:10um以下
■LTV:10um以下
■TIR:10um以下
■BOW:10um以下
■Wrap:10um以下
■表面仕上げ:Epi-ready(Ra<0.2nm)
■裏面仕上げ:研削仕上げ(Ra=0.5~1.2nm)
■洗浄・梱包:クラス100クリーンルーム内にて真空・窒素封入梱包
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
<2インチ>
■1次オリフラ長さ:16.0±0.8mm
■1次オリフラ方位:A-plain(11-20)±0.2°
■TTV:10um以下
■LTV:10um以下
■TIR:10um以下
■BOW:10um以下
■Wrap:10um以下
■表面仕上げ:Epi-ready(Ra<0.2nm)
■裏面仕上げ:研削仕上げ(Ra=0.5~1.2nm)
■洗浄・梱包:クラス100クリーンルーム内にて真空・窒素封入梱包
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。