![meikikou-sougou.jpg](https://images.ipros.jp/public/catalog/image_generated/01/afb/102620/102620_IPROS2921149468597291786_1.jpg?w=100&h=100)
クリーンシステム事業
当事業は、液晶ガラス基板 (LCD) や半導体ウエーハの製造工程におけるクリーンルーム内のハンドリング装置を手掛けております。弊社オリジナル製品クリーンロボットを中核とした液晶パネル用ローダ・アンローダ、半導体ウエーハ用EFEM、ロードポートを設計・製作しております。 クリーンロボットの清浄度は、LCD用でクラス10 (0.1μm)、半導体ウエーハ用クラス1 (0.1μm) を実現しています。クリーンルーム内の搬送、ハンドリングを手掛けて20年以上、お客様の厚い信頼を得ています。
![meikikou-sougou.jpg](https://images.ipros.jp/public/catalog/image_generated/01/afb/102620/102620_IPROS2921149468597291786_1.jpg?w=100&h=100)
![T-04_Palletizer(パレタイザー)〇.jpg](https://images.ipros.jp/public/catalog/image/01/527/632025/IPROS03716260145274760626.jpeg?w=100&h=100)
パレタイジングシステム
最終更新日:
2022-02-02 15:59:52.0製品カタログ