クリーンシステム事業 カタログ一覧

当事業は、液晶ガラス基板 (LCD) や半導体ウエーハの製造工程におけるクリーンルーム内のハンドリング装置を手掛けております。弊社オリジナル製品クリーンロボットを中核とした液晶パネル用ローダ・アンローダ、半導体ウエーハ用EFEM、ロードポートを設計・製作しております。 クリーンロボットの清浄度は、LCD用でクラス10 (0.1μｍ)、半導体ウエーハ用クラス1 (0.1μｍ) を実現しています。クリーンルーム内の搬送、ハンドリングを手掛けて20年以上、お客様の厚い信頼を得ています。