上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。
・会社概要
・沿革
・主な事業内容
・自社製品のご紹介
・機械加工のご紹介
関連情報
フラットパネル・半導体関係の各種装置の設計・製作
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■FPD関連
・塗布装置
・真空乾燥装置
・露光装置
・搬送装置
・検査装置／その他
■半導体関連
・ウェーハポリッシング装置
・プラズマエッチンジ装置
・プラズマッシング装置
・レーザーマーカー
・ウェーハボンダー
・各種ウェーハ検査装置
・洗浄装置／その他
真空加熱乾燥 サンプルテスト
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バッチ式タイプ
加熱方式 ： 外部加熱
冷却方式 ： 炉体外壁強制空冷方式
最高温度 ： ～１５０℃
到達真空度 ： ５０Ｐａ以下
リークレート ：１ｘ１０Ｅ-８Pa ・㎥/ｓｅｃ以下
温度制御 ： ３ゾーン
炉内寸法 ： １５００ｍｍ
１７００ｍｍ
Roll to Rollタイプ
加熱方式 ： 外部加熱
最高温度 ： 150℃
真空到達度 ： 100Pa以下（無負荷）
ワーク幅 ： 400mm
ワーク外径 ： 800mm
コーン内径 ： ３“（チャック径）
搬送速度 ： 50～500mm/sec
テンション ： 4～400N
巻き取り蛇行補正 ： ±１mm
ロールtoロール方式 真空乾燥装置
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【特長】
○真空環境で連続均熱乾燥他各種の処理
○搬送速度：～1000mm／sec
○排出ガスをリアルタイムで測定
○水分量の測定
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
自動搬送付き真空乾燥システム 「VDOSシリーズ」
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【製品の特長（機能面）】
・フルオート搬送機装備
・加熱時の温度のオーバーシュート対策
・炉内腐食対策
・金属コンタミネーション対策
・ドライルーム内設置面積を極小化できる装置構造
・ドライルーム内設置体積を極小化できる装置構造
・ストッカーの設備を可能とするハード・ソフト構成
・処理条件データのログ機能
上記は標準機能になります。その他にも多様なオプションにより、様々な生産形態（ライン）に対応できる装置をご提供致します。まずはテスト乾燥からご用命下さい！
※デモ評価をご希望される際は、下記問い合わせフォームよりご連絡下さい。
【仕様】
・型式：VDOS‐XXX
・方式：真空・壁面加熱（外部加熱）
・使用温度：40℃～200℃
株式会社メイコー 事業紹介
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【事業内容】
○自動化・省力化機器関連事業
→各種自動化・省力化機器（FA装置）の製作、企画、設計
→納品後のハード・ソフト両面に渡る充実したフォローアップ
○半導体関連事業
→各種半導体製造装置のEMS（電子機器受託製造サービス）による生産
・ウェーハポリッシング装置
・プラズマエッチング装置
・レーザーマーカー
・ウェーハボンダー
・各種ウェーハ検査装置
・洗浄装置
○FPD関連事業
→国内最大級のクリーンルームを備える新工場を保有
→LCD生産ラインに向けて「第10世代大型ガラス基板」に対応した製造装置のEMSによる生産
→PDP、有機EL等のFPD用製造装置のEMS事業も展開
○超大型・精密機械加工事業
→半導体・液晶・有機EL等の製造装置用真空チャンバーを中心とした高精度・大型部品加工と、精密微細部品加工
○研究開発
→プラズマ技術、真空技術、超精密制御技術、光応用技術
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
【受託製作】大型真空チャンバーの製作
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【特長】
○大型真空チャンバーの受託製作サービス
→リークテストの実施
→設計・製作と強度計算の受託も可能
→アルミチャンバーの溶接も対応
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。
お問い合わせ
※お問い合わせをすると、以下の出展者へ会員情報(会社名、部署名、所在地、氏名、TEL、FAX、メールアドレス)が通知されること、また以下の出展者からの電子メール広告を受信することに同意したこととなります。
株式会社メイコー
