株式会社メイコー

化学薬品の代わりに水蒸気を使った洗浄機「蒸気2流体洗浄装置」

最終更新日: 2022-12-13 16:59:43.0

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半導体業界から生まれた新技術!蒸気を超音速で噴射することで「汚れ」を除去!薬品を使わないので、廃液処理が簡単で低コストを実現!

蒸気2流体洗浄装置は上記を超音速で噴射することで発生する衝撃波(キャビテーション)とせんだん力により汚れや微小異物を除去します。
また、薬品を使わないので廃液処理が簡単で、低コストを実現します。

【特徴】
■蒸気を高音速で噴射して汚れを除去
■薬品を使わないので、廃液処理が簡単で低コストを実現
■水のみで洗浄するので環境に配慮し安全
■非接触なので消耗品が少ない
■油性マジック及び油汚れも除去可能

【応用・実績例】
■フォトレジストの剥離(半導体、LED)
■ポリマー及びパーティクル除去(半導体)
■金膜のリフトオフ(半導体、LED)
■研磨後の洗浄(半導体、樹脂加工)


※製品の詳細は別途お問い合わせいただくか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。

【その他応用・実績例】
■フラックス除去(PCB)
■異物除去(有機EL、液晶、コンデンサー等の電子部品)
■接着剤・糊除去(半導体、PCB)
■研磨布洗浄(金属・樹脂加工)

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