当製品は、真空環境で使用出来るAIREX メカニカルシャフト
(ネジ式)です。
使用部品はガス放出量の少ない材料を使用しており、
コア着脱時の接触発塵を抑えるため、ボディ外径部に
コロユニットを埋設。
組立前には全ての部品を脱脂洗浄し、超音波洗浄した後、
乾燥機にて水分を除去します。
【特長】
■10^-6Pa超高真空領域まで使用可能
■厳選した材料を使用
■発塵を抑える構造
■部品の残留異物を除去
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の特長】
■ラグの拡縮時にシャフト内部からの発塵を抑えると同時に、部品の焼き付き防止のため、
摺動部品は金属と樹脂の組合せになるようにしている
■組立はクリーンブースにて行い、油分・ゴミ等が付着しないよう細心の注意を払っている
■使用部品はガス放出量の少ない材料を使用
・金属:SUS303,SUS304,SUS440C,A2017
・樹脂:ベスペルSP-1,ケトロンPEEK,バイトン,フッ素ゴム
・潤滑油:真空グリス(バリエルタSUPER IS/V,NOK)
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 【用途】 ■太陽光パネル・半導体製造装置などの巻取・繰出軸 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
お問い合わせ
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株式会社三橋製作所