【装置仕様】
○インプリント方式:光硬化方式
○プレス剥離荷重:0.1~100N
○プレス剥離荷重:1〜1000μm/sec
○UV装置性能:光量400mW/cm2、波長 最大 365mm
○電源:AC100V
○装置重量:約25kg
○サンプル基盤:Siウェハ・ガラス基板
○飼料寸法:20×20mm
●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。
○インプリント方式:光硬化方式
○プレス剥離荷重:0.1~100N
○プレス剥離荷重:1〜1000μm/sec
○UV装置性能:光量400mW/cm2、波長 最大 365mm
○電源:AC100V
○装置重量:約25kg
○サンプル基盤:Siウェハ・ガラス基板
○飼料寸法:20×20mm
●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。