TMP-FX
最終更新日：
2022-02-14 10:49:09.0製品カタログ
TMP-EX
最終更新日：
2022-02-14 10:48:48.0製品カタログ
高熱伝導グラファイトによるサーマルマネージメント（英文）
最終更新日：
2021-11-11 19:13:23.0技術資料・事例集
PBNカタログ
最終更新日：
2021-11-04 13:15:40.0製品カタログ
高温用グラファイト保護コーティング
最終更新日：
2021-11-04 13:15:40.0製品カタログ
ヒータと静電チャック
最終更新日：
2021-11-04 13:15:40.0製品カタログ
GaN半導体製造用機能部品
最終更新日：
2021-11-04 13:15:40.0製品カタログ
非鉄金属プロセスBNコーティング
最終更新日：
2021-11-04 13:15:40.0製品カタログ
非鉄金属プロセス BN Coating
最終更新日：
2021-11-04 13:15:40.0製品カタログ
GaN半導体製造用機能部品
最終更新日：
2021-11-04 13:15:40.0製品カタログ
SiC半導体製造用機能部品
最終更新日：
2021-11-04 13:15:40.0製品カタログ
タンタルカーバイドコーティング
最終更新日：
2021-11-04 13:15:40.0製品カタログ
Thermal Leveler
熱伝導率1500W/mKのTPGを使用した温度分布改善技術。ヒータの温度分布を改善し、ヒータ寿命を延ばします。
最終更新日：
2021-11-04 13:15:40.0製品カタログ
高温用グラファイト保護コーティング
高温腐食性雰囲気でグラファイトを保護するコーティング。SiCやGaNなどのMOCVDに有効です。
最終更新日：
2021-11-04 13:15:40.0製品カタログ
熱伝導フィラー『PolarTherm』
低誘電率、電気絶縁性、熱伝導に優れた熱伝導フィラー！電子部品などの寿命を向上。５G等の高周波機器に対応。
最終更新日：
2023-10-30 11:46:53.0製品カタログ
メタルカーバイドコーティング
SiC半導体製造の高温ウェハプロセスでグラファイトを保護するコーティング技術！部材の寿命の延長効果を発揮
最終更新日：
2021-11-04 13:15:40.0技術資料・事例集
『パイロリティックボロンナイトライド（PBN）』
高純度、高熱伝導、軽量で靭性があり、高い耐熱衝撃性を発揮する高温セラミックス！半導体製造など幅広い業界で活躍
最終更新日：
2021-11-04 13:15:40.0製品カタログ
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