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2012-05-11 00:00:00.0
応用物理 2012年5月号執筆記事掲載のお知らせ

その他・お知らせ   掲載開始日: 2012-05-11 00:00:00.0

公益社団法人応用物理学会より発刊の月刊誌「応用物理」2012年5月号へ、MST一般財団法人材料科学技術振興財団が走査電子顕微鏡（SEM）について記事執筆を行いました。

●雑誌概要
・発行元：公益社団法人応用物理学会
・掲載誌：2012年5月発行　応用物理
・企画名：基礎講座　＜ホップ・ステップ・ジャンプ＞シリーズ「走査電子顕微鏡」

●MST寄稿概要
・執筆者：
一般財団法人材料科学技術振興財団　分析評価部TMG　リーダー　米光恭子
・執筆内容：
走査電子顕微鏡の研究開発への応用－解析事例、こんなことに使われる

ぜひご覧ください。

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関連製品情報

［SEM］走査電子顕微鏡法
［SEM］走査電子顕微鏡法 製品画像
高倍率観察(30万倍程度まで)が可能

SEMは、電子線を試料に当てた際に試料から出てくる電子の情報を基に、試料の凹凸や組成の違いによるコントラストを得ることができる手法です。 ・簡単な操作で高倍率観察(50万倍程度まで)が可能 ・二次電子（Secondary Electron;SE）像、反射電子（BackScattered Electron;BSE）像、透過電子（Transmitted Electron;TE）像の観察が可能 ・加速電圧0.1～30kVの範囲で観察が可能 ・最大6インチまで装置に搬入可能（装置による） ・SEMにオプションを組み合わせることにより、様々な情報を得ることが可能 　EDX検出器による元素分析が可能 　電子線誘起電流（EBIC）を測定し、半導体の接合位置・形状を評価 　電子後方散乱回折（EBSD)法により、結晶情報を取得可能 　FIB加工とSEM観察の繰り返しにより、立体的な構造情報を取得可能（Slice & View） 　冷却観察・雰囲気制御観察
【分析事例】SEM装置での歪み評価
【分析事例】SEM装置での歪み評価 製品画像
EBSD：電子後方散乱回折法

TEM（NBD：Nano Beam Diffraction）のような薄片化加工を行うことなく、バルク状態での測定が可能です。 SEM特有の高い空間分解能を持ち、比較的高い歪み感度を持っています。 また、局所的な格子歪みをテンソルデータとして検出できる可能性があります。

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