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2012-05-11 00:00:00.0
【分析事例】薄膜アモルファスSi太陽電池中のドーパント濃度分布評価　公開しました

カタログニュース   掲載開始日: 2012-05-11 00:00:00.0

フレキシブル薄膜Si太陽電池において、a-Si(アモルファスシリコン)中のドーパントの濃度分布を定量的に評価した事例をご紹介します。樹脂で封止されたサンプルを解体し、SIMS分析を行いました。 Bの分析(図3)では表面側の浅い箇所に存在するため、深さ方向分解能を高めて測定を行いました。
Pの分析(図4)ではa-Si中に多量のHが存在して質量干渉を起こすため、高質量分解能法によりH+Siを分離してPのみを検出する条件で測定を行いました。

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