試料表面の構造解析を行う手法です。他の分析装置に比べ表面に敏感であることから、最表面の有機汚染の同定などに適した手法です。 スパッタイオン源を用いて、深さ方向に無機・有機物の分布分析が可能です。 ・有機・無機化合物の構造解析・同定が可能 ・異物検査装置の座標データとリンケージが可能 ・ミクロンオーダーの微小異物から数cmまでの定性が可能 ・最表面を感度よく分析することが可能 ・イメージ分析が可能 ・深さ方向分析の定性分析が可能
MSTは、有機ELの開発を分析サービスで強力サポートいたします!
画素の高精細化に伴いパターンが微細化されてる有機ELパネルについて、積層された有機膜の各原料を推定する測定環境を整えました。
デバイス評価・劣化評価を通じて、MSTは皆様の研究開発に貢献いたします。
★★★今回紹介の分析事例★★★
・有機材料劣化成分の深さ方向分析
~有機EL劣化層の成分評価~
・ポリイミド成分の深さ方向分析
~有機材料の表面改質層評価が可能です~
・有機EL成分の深さ方向分析
~微小画素領域での有機成分評価~
【新サービスです!】
TOF-SIMSの新スパッタ条件により、有機成分を壊さず
深さ方向分析が可能になりました。
・有機EL材料の構造推定
~Q-Tof型LC/MS/MSを用いた材料の構造推定事例~
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関連リンク
- 【特集】有機ELの分析 part2
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