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2018-04-11 00:00:00.0
技術情報「有機多層膜のラマン3Dマッピング」ほか3件を公開

カタログニュース   掲載開始日: 2018-04-11 00:00:00.0

MSTホームページにて、下記分析事例3件を公開しました。
・有機多層膜のラマン3Dマッピング
・ウエハ表面の金属・有機物汚染評価
・Ramanによる金属部材上の異物分析

詳細はMSTホームページをご覧ください。
http://www.mst.or.jp/

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関連製品情報

【分析事例】有機多層膜のラマン3Dマッピング
【分析事例】有機多層膜のラマン3Dマッピング 製品画像
表面からの測定で、深さ方向の成分分布を確認可能です

ラマン分析では、表面からの測定で深さ方向の成分分布が確認できます。光を透過し易い物質に有効で、断面加工やイオンスパッタエッチングを併用せず非破壊での評価が可能です。 本資料では、有機多層膜の各層について、ラマン3Dマッピングで評価した例を示します。結果より、有機多層膜は四層で構成されていることが分かりました。また、ライブラリデータとの照合により、各層の成分が同定できました。
【分析事例】ウエハ表面の金属・有機物汚染評価
【分析事例】ウエハ表面の金属・有機物汚染評価 製品画像
複数手法の分析結果より、複合的に評価

製造装置や部品に付着した異物は、製造品の不良や装置動作の不具合などに影響する場合があります。 異物を適切に分析・評価することで発生原因を究明し、不具合を改善することができます。本資料では、Siウエハ表面に付着した汚染をICP-MSとSWA-GC/MS※で複合的に分析した事例をご紹介します。 ※SWA（シリコンウエハアナライザー）-GC/MSとは、ウエハごと電気炉で加熱して有機物をガス化し、GC/MSで測定する手法です。
【分析事例】Ramanによる金属部材上の異物分析
【分析事例】Ramanによる金属部材上の異物分析 製品画像
微小領域を狙った測定が可能

製造装置や部品に付着した異物は、製造品の不良や装置動作の不具合などに影響する場合があります。異物を適切に分析・評価することで、発生原因を究明し、不具合を改善することができます。 本資料では、金属部材上に付着した異物の成分をRaman分析により評価した結果をご紹介します。 Ramanは約1μmの微小領域の測定が可能であり、狙った箇所の分子構造や結晶構造に関する情報を得られることから、まばらに存在する異物の定性分析に有効です。

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