【分析事例】酸化物半導体一覧

【分析事例】2次元検出器を用いたX線回折測定

XRD：X線回折法

最終更新日： 2023-03-29 17:02:35.0

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【分析事例】酸化物ReRAM動作領域の元素分布評価

酸化物デバイスにおける局所元素分布を酸素同位体を用いて高感度に評価

最終更新日： 2016-02-05 14:04:13.0

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【分析事例】極浅注入プロファイルの評価

極浅い領域においてもドーパント分布・接合の評価が可能

最終更新日： 2016-08-25 14:25:09.0

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【分析事例】極薄SiON膜の組成・膜厚評価

光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり

最終更新日： 2016-02-05 11:53:51.0

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【分析事例】XAFSによるシリコン酸化膜評価

シリコン周囲の局所構造解析、中間酸化物の定量、バルク・界面の評価

最終更新日： 2016-10-21 13:38:59.0

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【分析事例】酸化ガリウムGa2O3膜表面近傍の金属元素濃度評価

極浅い領域でも高感度に分析

最終更新日： 2016-09-30 09:18:01.0

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【分析事例】電子回折の種類と特徴

TEM：透過電子顕微鏡法

最終更新日： 2016-10-31 11:32:12.0

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【分析事例】ケミカルシフトによる金属酸化物の価数評価

XPS：X線光電子分光法

最終更新日： 2023-03-29 16:58:04.0

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【分析事例】ウエットエッチングによる有機付着物除去

表面汚染を除去してXPSによる評価を行います

最終更新日： 2022-10-11 16:55:41.0

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【分析事例】XPSによるGaN膜の組成・結合状態評価

目的に合わせた測定条件で評価を行います

最終更新日： 2016-03-15 14:41:09.0

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【分析事例】IGZO膜の化学状態評価

XPS・UPSを用いた結合状態・電子状態評価

最終更新日： 2016-03-11 13:06:26.0

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【分析事例】IGZO膜の局所結晶構造解析

電子回折で結晶性・配向性を連続的に評価

最終更新日： 2016-10-31 11:52:18.0

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【分析事例】IGZO膜へのTi拡散評価

SSDP-SIMSによる高濃度層の影響を避けた測定

最終更新日： 2016-03-11 12:57:35.0

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【分析事例】IGZO膜中H濃度評価

IGZO膜中Hについて、高感度で深さ方向分布の評価が可能

最終更新日： 2016-03-11 12:51:18.0

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【分析事例】IGZO薄膜のXAFSによる局所構造解析

酸化物半導体中、金属元素の価数・配位数・構造秩序性の評価

最終更新日： 2016-03-11 12:46:12.0

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【分析事例】IGZO（粉末・バルク・薄膜）の組成・不純物分析

主成分及び金属不純物元素の定量分析

最終更新日： 2022-11-08 16:00:53.0

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【分析事例】X線によるZn系バッファ層の複合評価

組成・結合状態・構造・密度の評価が可能

最終更新日： 2016-08-25 10:12:54.0

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【分析事例】Si自然酸化膜の膜厚評価

光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり

最終更新日： 2016-03-09 14:58:32.0

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【分析事例】IGZO 薄膜の結晶性・膜密度評価

酸化物半導体のXRD・XRR分析事例

最終更新日： 2016-08-25 09:47:04.0

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【分析事例】酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価

XAFSとXPSの複合解析によって高精度なバンドギャップ評価が可能

最終更新日： 2023-04-13 16:09:00.0

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【分析事例】代表的な材料・目的別のTDS解析例

TDS：昇温脱離ガス分析法

最終更新日： 2017-04-06 13:04:53.0

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【分析事例】ウエハアナライザーを用いた有機汚染評価

GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法

最終更新日： 2017-08-11 14:54:15.0

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【分析事例】金属膜の高温XRD評価

昇温過程での相転移・結晶性変化を追跡評価

最終更新日： 2017-08-11 15:09:30.0

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【分析事例】高温XRDによる熱分解生成物の同定

昇温しながらXRD測定が可能

最終更新日： 2017-08-11 15:07:04.0

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【分析事例】多元系金属微粒子の結晶構造観察

InGaZnO4粒子の超高分解能STEM観察

最終更新日： 2023-04-17 12:21:44.0

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【分析事例】軟X線発光分光によるGaNの評価

価電子帯・ギャップ内準位について元素別の情報が得られます

最終更新日： 2018-02-22 16:26:42.0

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【分析事例】X線吸収・発光分光によるバンド構造評価

材料の価電子帯・伝導帯・ギャップ内準位の詳細な情報が得られます

最終更新日： 2018-03-22 16:34:19.0

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【分析事例】界面および深さ方向分解能について

SIMS：二次イオン質量分析法

最終更新日： 2018-07-09 15:02:36.0

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【分析事例】クリーンルーム内有機化合物の評価方法

GC/MS：ガスクロマトグラフィー質量分析法

最終更新日： 2019-02-19 10:06:18.0

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【分析事例】セラミックス材料に含まれる微量金属の価数評価

ppmオーダーの微量金属も評価可能です

最終更新日： 2019-02-19 11:10:07.0

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