【仕様(一部抜粋)】
■対象基板最大サイズ(縦×横):250mm×350mm Mサイズ基板対応
■基板取扱
・基板取扱:ガラスエポキシ(FR-4)、CEM3等の樹脂基板
・位置規制方法:治具による位置決め
■基本性能
・X-Y軸位置決め方式:2軸ACサーボ制御
・X-Y軸移動速度:最大500mm/s
・繰返し位置決め精度:±0.02mm など
■装置外形寸法
・3422W×1340D×2000H 約1000kg
■対象基板最大サイズ(縦×横):250mm×350mm Mサイズ基板対応
■基板取扱
・基板取扱:ガラスエポキシ(FR-4)、CEM3等の樹脂基板
・位置規制方法:治具による位置決め
■基本性能
・X-Y軸位置決め方式:2軸ACサーボ制御
・X-Y軸移動速度:最大500mm/s
・繰返し位置決め精度:±0.02mm など
■装置外形寸法
・3422W×1340D×2000H 約1000kg