軸対称モデルを対象に、Excelマクロを用い結果を簡単に評価します。
イオンビーム装置設計ソフト。軸対称モデルに限定だが、Excelマクロを使い、簡単操作で結果を評価できる。電界分布、磁界分布、軌道分布を計算。空間電荷効果が考慮できる。
イオンビーム装置設計ソフト。軸対称モデルに限定だが、Excelマクロを使い、簡単操作で結果を評価できる。電界分布、磁界分布、軌道分布を計算。空間電荷効果が考慮できる。
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納期 | お問い合わせください |
用途/実績例 | 薄膜生成装置 |
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