株式会社ミューテック

イオンビーム設計ソフト

最終更新日: 2021/08/31

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軸対称モデルを対象に、Excelマクロを用い結果を簡単に評価します。

イオンビーム装置設計ソフト。軸対称モデルに限定だが、Excelマクロを使い、簡単操作で結果を評価できる。電界分布、磁界分布、軌道分布を計算。空間電荷効果が考慮できる。

イオンビーム装置設計ソフト。軸対称モデルに限定だが、Excelマクロを使い、簡単操作で結果を評価できる。電界分布、磁界分布、軌道分布を計算。空間電荷効果が考慮できる。
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用途/実績例 薄膜生成装置

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