【目次】
■硬質薄膜の品質管理とは?
・硬質薄膜において重要な特性
■膜厚の測定方法
・マスキング段差測定法
・カロテスト研磨法
・非破壊試験法
■硬さの測定方法
・インデンテーション硬さ試験
■密着力の試験方法
・スクラッチ試験法
・HRC圧痕試験法
・引きはがしテープ試験法
■硬質薄膜の品質管理とは?
・硬質薄膜において重要な特性
■膜厚の測定方法
・マスキング段差測定法
・カロテスト研磨法
・非破壊試験法
■硬さの測定方法
・インデンテーション硬さ試験
■密着力の試験方法
・スクラッチ試験法
・HRC圧痕試験法
・引きはがしテープ試験法