最終更新日:
2018-06-25 18:27:46.0
独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置
『TP-50B』は、電波法による設置許可申請も不要の50Ｗ型で、操作も簡単、気軽にプラズマ加工が行える卓上プラズマエッチング装置です。
独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能で、半導体故障解析用試料の前処理（配線の露出）から、各種プラズマ加工に幅広く対応致します。
また小型のため、スペースの限られた研究室で活躍します。
【特長】
■卓上サイズでコンパクト
■局所的なプラズマ加工が可能（Φ0.5mm～）
■低残渣かつ高速加工を実現（10μm/mim）
■低出力のRF電源（最大出力50W未満）
■試料をステージで移動させた広範囲の加工が可能
※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【仕様（抜粋）】
■装置寸法：240mm(W)×390mm(D)×350mm(H)
■重量：20kg
■真空ポンプ：ドライポンプ（15L）
■加工範囲：28mm×28mm(オプションステージ使用時) 0.5~4mm
■対応可能ガス：CF4、N2、D.A、Ar、O2等
※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
| 価格帯 | お問い合わせください |
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| 納期 | お問い合わせください |
| 用途／実績例 | 【用途】 ■表面改質 ■半導体デバイスの絶縁膜除去 ■半導体デバイスの裏面加工 ■プラズマクリーニング ■各種材料のエッチング ※詳しくはPDFをダウンロードいただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
お問い合わせ
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ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部 機能材料課
