『窒化アルミ(AlN)』は、特に高温特性に優れたセラミックスです。
熱伝導率が極めて高く、ファインセラミックスでは炭化珪素と肩を並べる
熱伝導率を誇り=170W、線膨張係数がSiに近く耐食性にも優れている事から
半導体製造装置用部材や基板としても幅広く利用されております。
また、その熱に対する特性からヒーター用途にも適しております。
半導体後工程ボンディング用ヒーターツールとしても利用されており、厳しい
平面/平行度や面粗度を要求されますが、当社では過去より数多くのツールを
手掛けており、その実績と加工ノウハウを有しております。
【特長】
■ファインセラミックスの中で高い熱伝導率と放射性
■電気絶縁性が高く耐食性にも優れる
■セラミックスの中では高額材料
■高強度、高温伝導率、高強度、高ヤング率、低膨張率などを有している
【用途例】
■ヒートシンク、絶縁硝子、保護管、放熱ベース など
■放熱、絶縁性を要する電気部品 など
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の概要】
当社での窒化アルミは、熱伝導率170Wタイプを標準材として取扱っております。
他の熱伝導率タイプは特殊材となりますのでお問い合わせください。
ファインセラミックスである窒化アルミは、加⼯途中での割れカケ等のチッピングも
起こりやすい難削材となりますが、当社では精密・微細加 ⼯等様々な形状の対応可能です。
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯 | お問い合わせください |
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納期 |
お問い合わせください
※ 形状・数量により納期変動しますので、お問い合わせ下さい。 |
用途/実績例 | 【用途】 ■半導体/液晶/有機EL関連製造工程用部材 ・半導体製造装置部材 ・基板 ・ヒーター ・放熱、絶縁性部品 ・坩堝 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 |
お問い合わせ
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ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部 機能材料課