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パーティクルモニター仕様書DTPM300-011

最終更新日: 2022-08-22 13:50:43.0

上記では、電子ブックの一部をご紹介しております。

設置するだけでクリーン環境を集中管理できる「パーティクルモニター」の 仕様書です。
ー現在受注停止中ですー

パーティクルモニターは、レーザー光源を使用し製造環境の微小な浮遊異物を捉える測定器です。
不良現象と浮遊異物の異常値を確認することで、不良原因の追跡調査が容易になります。

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